金屬光譜分析儀的原理主要基于光譜分析技術，涉及原子的電離與激發產生譜線，以及這些譜線的測量和分析。其工作流程大致如下：樣品准備。將金屬樣品制成薄片或放在電極上，以便進行電弧放電或激光輻射激發。激發與原子化。通過施加電流或使用激光激發樣品，使樣品中的金屬元素被激發和電離，形成一個帶電等離子體區域。這個過程中，樣品蒸發並原子化，電子與原子碰撞電離出正離子。